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中国国家电子超纯水规格GB/T1146.1-1997
详细介绍：

指标
EW-I
EW-II
电阻率MΩ.cm(25℃)
18以上(95%时间)不低于17
15(95%时间)不低于13
硅≤µg/l 2 10
>1µM微粒数≤个/ml 0.1 5
细菌个数≤个/ml 0.01 0.1
铜≤µg/l 0.2 1
锌≤µg/l 0.2 1
镍≤µg/l 0.1 1
钠≤µg/l 0.5 2
钾≤µg/l 0.5 2
氯≤µg/l 1 1
硝酸根≤µg/l 1 1
磷酸根≤µg/l 1 1
硫酸根≤µg/l 1 1
总有机碳≤µg/l
20
 100

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